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PSC,PDC化工专用泵,汉钟真空泵

2020-09-24 03:19:21  652次浏览 次浏览
价 格:面议

汉钟真空泵 PS系列

包括机型 汉钟真空泵PS80 ,汉钟真空泵PS160,汉钟真空泵 PS180,汉钟真空泵 PS602,汉钟真空泵 PS902,汉钟真空泵 PS1302,汉钟真空泵 PS1802

螺旋真空泵浦产品特色

汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过专利转子线形良好的密封效果,压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。

泵浦温度控制

汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命。

密封马达性高

PS系列真空泵浦亦采用专利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险。

微电脑控制保护周全

PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求之产业。

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